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電子制成清洗中在線清洗劑監(jiān)測系統(tǒng)

合明科技 ?? 2570 Tags:電子制成清洗在線清洗劑監(jiān)測系統(tǒng)

電子制成清洗中在線清洗劑監(jiān)測系統(tǒng)

在線化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng) (Inline Chemical Monitoring System, ICMS),電子制程清洗過程中對清洗劑和超純水(UPW)的實(shí)時(shí)監(jiān)測可提供用于改善制造工藝和最大程度提升產(chǎn)品產(chǎn)量的重要信息。在通過罐或桶的運(yùn)輸過程、清洗劑供應(yīng)中心、分配過程以及使用過程中,對制程清洗劑中的金屬雜質(zhì)進(jìn)行監(jiān)測,需要全天候進(jìn)行化學(xué)品監(jiān)測,驗(yàn)證低ppt甚至亞ppt級的金屬污染。為提供針對在線制程清洗劑分析的解決方案。在線化學(xué)品監(jiān)測系統(tǒng)通過遠(yuǎn)程布設(shè)多個(gè)化學(xué)品采樣點(diǎn)位并將其匯聚閥進(jìn)樣中心模塊,最后導(dǎo)入ICP-MS進(jìn)行檢測。這種方式既減少了人工采樣可能的污染,又做到了實(shí)時(shí)監(jiān)測。

電子制程清洗.jpg

一、在線清洗劑監(jiān)測系統(tǒng)的作用:

1、遠(yuǎn)程在線取樣,適用于制程化學(xué)品和UPW(從長達(dá)300m的距離處)。

2、小體積取樣(<10mL),最大程度減少珍貴高純度化學(xué)品的消耗量。

3、快速徹底的清洗。

4、針對每種化學(xué)品的專用傳輸線。

二、在線清洗劑監(jiān)測系統(tǒng)的優(yōu)勢:

1、最大程度減小由意外污染引起的產(chǎn)品損失。
2、能夠研究和消除污染源。
3、優(yōu)化化學(xué)品壽命,并減少處置和更換成本。
4、提高產(chǎn)品產(chǎn)量。
5、減少人員與有害化學(xué)樣品的接觸,提高安全性并減小手動(dòng)操作誤差。
6、可定制的軟件,用戶自定義的靈活參數(shù)對每個(gè)取樣工作站進(jìn)行污染控制。

在線清洗劑監(jiān)測系統(tǒng).jpg

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